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J-GLOBAL ID:200902239659275621   整理番号:08A0905213

触覚センサのためのVDFオリゴマーの圧電特性

Piezoelectric Properties of Vinylidene Fluoride Oligomer for Use in Tactile Sensor
著者 (5件):
資料名:
巻: 26  号:ページ: 711-717  発行年: 2008年09月15日 
JST資料番号: Y0482A  ISSN: 0289-1824  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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VDFオリゴマーはPVDFの低分子量体であり,真空蒸着によって均一かつ構造制御された膜質を得ることができるので,PDDFより高い残留分極量を持つ。この利点を生かして不揮発性メモリ,焦電型センサへの応用が研究されてきた。センサのサイズダウンにより従来のPVDFセンサを置き換えることも可能であるが,これまでVDFオリゴマーの圧電特性はあまり調べられていなかった。そこでVDFオリゴマー薄膜を用いた実験により,圧電定数を求め,触覚センサへの応用を検討した。表面粗さ測定装置による膜圧および表面のプロフィル測定等の実験方法,試料の膜圧,圧電特性,電極幅の影響,成膜位置による膜質のばらつき等,実験結果に言及した。
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