文献

J-GLOBAL ID：200902239977240560   整理番号：03A0867724

光音響法を用いた熱伝導率を通しての半導体薄膜の特性評価

Evaluation of Semiconductor Thin-Films through Thermal Conductivity by Photoacoustic Method

著者 (4件)： 高畠信也 (神奈川工科大) ,  小林武 (神奈川工科大) ,  藤屋正晴 (東海大) ,  和泉富雄 (東海大)
資料名： 熱物性  (日本熱物性学会会誌)
巻： 17  号： 4  ページ： 270-275  発行年： 2003年10月31日 
JST資料番号： X0597A  ISSN： 0913-946X  CODEN： NEBUE4  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 光音響法を用いてSi基板におけるSiイオン注入層の熱伝導率の...

シソーラス用語： *光音響効果 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=03A0867724&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=X0597A") }}

分類 (3件)： 半導体の格子欠陥  (BK12040Q) ,  半導体の放射線による構造と物性の変化  (BK16123E) ,  比熱・熱伝導一般  (BL05021E)

引用文献 (28件)：

• [1] Y. H. Pao(ed.); "Optoacoustic Spectroscopy and Detection"(Academic Press 1977).
• [2] A. Rosencwaig; "Photoacoustics and Photoacoustic Spectroscopy"(John Wiley&Sons 1980).
• [3] D. S. Kliger(ed.); "Ultrasensitive Laser Spectroscopy"(Academic Press 1983).
• [4] T. Tominaga, K. Ito; Jpn. J. Appl. Phys., 27(1988). 2392-2397.
• [5] A. M. Mansanares, A. C. Bento, H. Vergas, N. F. Leite, L. C. M. Miranda; Phys. Rev. B, 42(1990), 4477-4486.

タイトルに関連する用語 (4件)： 光音響法 ,  熱伝導率 ,  半導体薄膜 ,  特性評価