文献

J-GLOBAL ID：200902240094735389   整理番号：09A0082395

シリカに埋込んだケイ素ナノ結晶の成長とルミネセンスに及ぼす窒素の影響

Influence of nitrogen on the growth and luminescence of silicon nanocrystals embedded in silica

著者 (7件)： BOLDUC M. (INRS-Energie, Materiaux et Telecommunications, 1650, Blvd. Lionel-Boulet, Varennes, Quebec J3X 1S2, CAN) ,  GENARD G. (Centre de Rech. en Physique de la Matiere et du Rayonnement, Lab. d’Analyses par Reactions Nucleaires, Univ. of ...) ,  YEDJI M. (INRS-Energie, Materiaux et Telecommunications, 1650, Blvd. Lionel-Boulet, Varennes, Quebec J3X 1S2, CAN) ,  BARBA D. (INRS-Energie, Materiaux et Telecommunications, 1650, Blvd. Lionel-Boulet, Varennes, Quebec J3X 1S2, CAN) ,  MARTIN F. (INRS-Energie, Materiaux et Telecommunications, 1650, Blvd. Lionel-Boulet, Varennes, Quebec J3X 1S2, CAN) ,  TERWAGNE G. (Centre de Rech. en Physique de la Matiere et du Rayonnement, Lab. d’Analyses par Reactions Nucleaires, Univ. of ...) ,  ROSS G. G. (INRS-Energie, Materiaux et Telecommunications, 1650, Blvd. Lionel-Boulet, Varennes, Quebec J3X 1S2, CAN)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 105  号： 1  ページ： 013108  発行年： 2009年01月01日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： SiO₂への過剰Si⁺注入,及び続くアルゴンまたは窒素を用いたアニーリングと不動態化により,ケイ素ナノ結晶(Si-nc)を生成した。窒素は光ルミネセンス(PL)発光を増大させ,スペクトルを青方へシフトさせた。測定したSi-ncの直径は,Ar及びN₂下で行ったアニーリングの後で,それぞれ4.3及び3.8nmであった。共鳴核反応分析(RNRA)により,すべての試料で著しい量の窒素原子が検出された。窒素環境でアニーリングと不動態化を実行したとき,窒素濃度は著しく高かった。これはRamanスペクトルでの大きいSi-N振動信号と一致する。窒素の深さプロフィルはSi-ncのプロフィルと非常に似ており,これはN₂分子がアニーリング中にSiO₂に拡散し,次にSi-nc付近に捕獲されたであろうことを示唆する。Si⁺に加えて,濃度3~6at.%のN₂⁺の注入は,PL強度の減少(高濃度で目立った)及びSi-N振動に付随したRaman信号の増大をもたらした。これらの結果は,比較的低い窒素原子割合がPL発光を増強することを示唆する。なぜなら,高い窒素濃度はSi-ncの形成を阻害し,従ってPL強度を著しく減少させるからである。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *二酸化ケイ素 ,  *ケイ素 ,  *ナノ結晶 ,  アニーリング【現象】 ,  雰囲気 ,  *窒素 ,  アルゴン ,  不動態化 ,  *光ルミネセンス ,  振動スペクトル ,  青方偏移 ,  赤外発光スペクトル ,  改変
準シソーラス用語： シリカ ,  Ramanスペクトル分析

分類 (1件)： 半導体のルミネセンス  (BM08092S)

タイトルに関連する用語 (7件)： シリカ ,  埋込 ,  ケイ素 ,  ナノ結晶 ,  成長 ,  ルミネセンス ,  窒素