NiGe内のドーパント偏析による金属-ゲルマニウム-金属光検知器の暗電流抑制-Schottky障壁

ZANG H.; LEE S. J.; LOH W. Y.; WANG J.; CHUA K. T.; YU M. B.; CHO B. J.; LO G. Q.; KWONG D.-L.

文献

J-GLOBAL ID：200902240191062631 整理番号：08A0141575

NiGe内のドーパント偏析による金属-ゲルマニウム-金属光検知器の暗電流抑制-Schottky障壁

Dark-Current Suppression in Metal-Germanium-Metal Photodetectors Through Dopant-Segregation in NiGe-Schottky Barrier

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資料名：
巻： 29 号： 2 ページ： 161-164 発行年： 2008年02月
JST資料番号： B0344B ISSN： 0741-3106 CODEN： EDLEDZ 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

NiGeドーパント偏析(DS)方法を用いて,暗電流を抑制した...

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光電デバイス一般 , その他の光伝送素子 , 赤外・遠赤外領域の測光と光検出器

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