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J-GLOBAL ID：200902240266364302   整理番号：04A0164667

テンプレート層上へのパルスレーザ蒸着によるPZT薄膜の作製と評価

Preparation and characterization of PZT thin films deposited by pulsed laser deposition on template layer

著者 (7件)： WANG Z J (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  BI H Y (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  KOKAWA H (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  ZHANG L (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN) ,  TSAUR J (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN) ,  ICHIKI M (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN) ,  MAEDA R (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
資料名： Journal of the European Ceramic Society  (Journal of the European Ceramic Society)
巻： 24  号： 6  ページ： 1629-1632  発行年： 2004年 
JST資料番号： E0801B  ISSN： 0955-2219  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Pt/Ti/SiO₂/Si(100)基...

シソーラス用語： *強誘電体 ,...
準シソーラス用語： *PZT【鉛化合物】 ,...

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分類 (2件)： 強誘電体,反強誘電体,強弾性  (BM05030B) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： テンプレート ,  パルスレーザ蒸着 ,  PZT ,  薄膜 ,  作製 ,  評価