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J-GLOBAL ID：200902240792951875   整理番号：06A0096996

逆気相-液相-固相メカニズムによりGaAsとInP基板にAu粒子が掘ったナノ孔形成

Nanoholes Formed by Au Particles Digging into GaAs and InP Substrates by Reverse Vapor-Liquid-Solid Mechanism

著者 (3件)： TATENO Kouta (NTT Corp., Kanagawa, JPN) ,  GOTOH Hideki (NTT Corp., Kanagawa, JPN) ,  NAKANO Hidetoshi (NTT Corp., Kanagawa, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 44  号： 50-52  ページ： L1553-L1555  発行年： 2005年12月25日 
JST資料番号： F0599B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： CBr₄ガス供給下で,逆気相-液相-固...

シソーラス用語： *エッチング ,...
準シソーラス用語： 逆VLS成長 ,...

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分類 (2件)： 貴金属触媒  (CB06122I) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (10件)：

• 1) A. Yokoo, M. Notomi, H. Suzuki, M. Nakao, T. Tamamura and H. Masuda: IEEE J. Quantum Electron. 38 (2002) 938.
• 2) M. Notomi, A. Shinya, S. Mitsugi, E. Kuramochi and H.-Y. Ryu: Opt. Exp. 12 (2004) 1551.
• 3) K. Tateno, H. Gotoh and Y. Watanabe: Jpn. J. Appl. Phys. 44 (2005) L428.
• 4) R. S. Wagner and W. C. Ellis: Appl. Phys. Lett. 4 (1964) 89.
• 5) X. Duan and C. M. Lieber: Adv. Mater. 12 (2000) 298.

タイトルに関連する用語 (8件)： 気相 ,  液相 ,  固相 ,  メカニズム ,  GaAs ,  InP ,  Au ,  孔形成