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J-GLOBAL ID:200902240970627637   整理番号:05A0214918

窒化ニオブと窒化タンタルの化学蒸着(CVD)の分子状前駆体

Molecular precursors for the CVD of niobium and tantalum nitride
著者 (6件):
資料名:
巻: 24  号:ページ: 463-468  発行年: 2005年02月17日 
JST資料番号: C0301B  ISSN: 0277-5387  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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分類 (3件):
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第4族,第5族元素の錯体  ,  塩  ,  遷移金属元素(鉄族元素を除く)の錯体の結晶構造 

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