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J-GLOBAL ID：200902241170510975   整理番号：07A0819898

MEMS用ナノエネルギー材料:展望

Nanoenergetic Materials for MEMS: A Review

著者 (6件)： ROSSI Carole (Lab. Analyse et d’Architecture des Systemes (LAAS), Centre National de la Rech. Scientifique, Toulouse, FRA) ,  ZHANG Kaili (Lab. Analyse et d’Architecture des Systemes (LAAS), Centre National de la Rech. Scientifique, Toulouse, FRA) ,  ESTEVE Daniel (Lab. Analyse et d’Architecture des Systemes (LAAS), Centre National de la Rech. Scientifique, Toulouse, FRA) ,  ALPHONSE Pierre (Centre Interuniversitaire de Rech. et d’Ingenierie des Materiaux (CIRIMAT), Toulouse, FRA) ,  TAILHADES Philippe (Centre Interuniversitaire de Rech. et d’Ingenierie des Materiaux (CIRIMAT), Toulouse, FRA) ,  VAHLAS Constantin (Centre Interuniversitaire de Rech. et d’Ingenierie des Materiaux (CIRIMAT), Toulouse, FRA)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 16  号： 4  ページ： 919-931  発行年： 2007年08月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： エネルギー材料(EM)は化学エネルギーを貯蔵する物質である。...

シソーラス用語： 超小形回路技術 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス材料  (NC03020K)

タイトルに関連する用語 (3件)： MEMS ,  エネルギー材料 ,  展望