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J-GLOBAL ID：200902241539335250   整理番号：08A1260174

短絡回路電流検知型熱電対を用いる新型薄膜真空センサの提案

Proposal of a New Type Thin Film Vacuum Sensor Using the Short Circuit Current-Detection Type Thermocouple

著者 (2件)： TAKASHIMA Noriaki (Tohoku Gakuin Univ., Miyagi, JPN) ,  KIMURA Mitsuteru (Tohoku Gakuin Univ., Miyagi, JPN)
資料名： Proceedings of the Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems  (Proceedings of the Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems)
巻： 25th  ページ： 85-88  発行年： 2008年10月22日 
JST資料番号： X0768A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 新しい薄膜真空センサについて報告した。このセンサは,比較的高真空範囲に高い感度をもたせるために「短絡回路Seebeck電流検知」型の熱電対の温度差センサ利用片持梁構造を設ける。マイクロヒータとそのマイクロヒータから熱絶縁されたヘッド領域の間の真の真空状態ではゼロであるべき温度差を,真空圧の下で測定する。この新型センサは従来のPirani真空センサの場合よりもはるかに低い真空圧つまり高真空度範囲における測定を,信号増幅することによって,僅かな温度差であるにもかかわらず可能にする。プロトタイプセンサによる実験では,10⁵~10^-2Paの間のきわめて広い真空測定範囲が得られた。そして,測定したデータのセンサ出力電圧-真空度曲線を半対数グラフプロットして,10^-3Pa程度までは,さらに高真空度まで検知できるとわかった。

シソーラス用語： *真空計 ,  熱電対 ,  信号増幅 ,  短絡電流 ,  熱起電力 ,  半導体集積回路 ,  片持梁 ,  SOI構造 ,  加熱器 ,  断熱 ,  マイクロヒータ

分類 (1件)： 真空技術  (BA02020L)

タイトルに関連する用語 (5件)： 短絡回路電流 ,  熱電対 ,  薄膜 ,  真空 ,  提案