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J-GLOBAL ID：200902241930371156   整理番号：08A0837820

元素識別可能なコヒーレントX線回折顕微法の開発

著者 (7件)： 久保英人 (大阪大 大学院) ,  高僑幸生 (大阪大 大学院) ,  古川隼人 (大阪大 大学院) ,  山内和人 (大阪大 大学院) ,  松原英一郎 (京大 大学院) ,  石川哲也 (理研) ,  西野吉則 (理研)
資料名： 精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集  (精密工学会関西地方学術講演会講演論文集)
巻： 2008  ページ： 17-18  発行年： 2008年07月22日 
JST資料番号： L6024A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： コヒーレントX線回折顕微法(Coherent X-ray Diffraction Microscopy:CXDM)は,X線の干渉性散乱を使う新しい顕微法である。X線の高い透過性と短波長性を利用し,非破壊でマイクロメートルサイズの試料の内部構造解析を10nm程度の空間分解能で可能である。CXDMで得られる試料像は,試料の電子密度分布を反映したものであるため,電子密度の差異に由来するコントラストから元素を識別することは困難であった。本研究では,X線の異常散乱現象を利用して元素識別を行うCXDMを考案し,そのデモンストレーション実験をした。電子密度の近い金属NiとCuで構成された試料を作製し,NiのK吸収端近傍のエネルギーを持つX線を用いて試料からの回折強度パターンを測定することで,CXDMにおいてNi元素の識別に成功した。本手法については,半導体中のドーパントを高分解能で元素マッピングし,その分布による機能発現の解析を行うなど,様々な分野での応用展開が期待されることを述べた。

シソーラス用語： X線トポグラフィー ,  構造解析 ,  電子密度 ,  干渉性散乱 ,  *コヒーレント光 ,  ニッケル ,  銅 ,  *元素分析 ,  密度分布 ,  高分解能 ,  *X線回折顕微鏡法

分類 (1件)： X線回折法  (BK01020I)

タイトルに関連する用語 (4件)： 元素 ,  識別 ,  コヒーレント ,  開発