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J-GLOBAL ID：200902242598602366   整理番号：09A0356673

絶対速度・変位センサの広帯域化とその除振装置への適用

Wide Bandwidth of Absolute Velocity/Displacement Sensors and Its Application to Vibration Isolated Table

著者 (3件)： 涌井伸二 (東京農工大 大学院共生科学技術研究院) ,  甲斐孝志 (東京農工大 大学院) ,  小島大典 (東京農工大 大学院)
資料名： 精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)
巻： 75  号： 4  ページ： 561-566  発行年： 2009年04月05日 
JST資料番号： F0268B  ISSN： 1348-8716  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 著者らは感度校正用の検定コイルを逆起電力の検出コイルとし,これと内蔵の変位検出器とを用いて絶対速度・変位センサを既に実現した。本報では,これらセンサの周波数特性の改善結果とFB(フィードバック)応用について示した。これにより得た主な知見を次に示した。1)重力補償用機械ばねに起因する副振動を,動吸振器を付加した力学モデルで表現可能なこと,2)絶対速度・変位センサの閉ループにINF(逆ノッチフィルタ)挿入することにより,両センサともに高域周波数特性が改善されること,3)絶対変位センサの周波数特性を低域へのばすために,検定コイルによる逆起電力検出の出力をドライバ前段に加算するダンピングループを新たに付加したこと,4)周波数特性を改善した絶対変位センサの検出信号をVCM(ボイスコイルモータ)にFBすることにより,VCM付き空圧式除振装置の機械インピーダンスを良好に操作できること。

シソーラス用語： センサ ,  *速度センサ ,  絶対値 ,  *絶対測定 ,  広帯域 ,  *防振装置 ,  空気ばね ,  *空気圧制御 ,  フィードバック制御 ,  リニアモータ ,  *周波数特性 ,  制御系 ,  インピーダンス
準シソーラス用語： *変位センサ ,  ボイスコイルモータ ,  機械インピーダンス

分類 (2件)： 振動伝搬  (BB02040K) ,  制御機器一般  (IC02010N)

タイトルに関連する用語 (3件)： 変位センサ ,  広帯域化 ,  除振装置