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J-GLOBAL ID：200902243174543889   整理番号：03A0722495

グロー放電電解時の水のスパッタリング歩留りを算定する方法

An approach to estimate the sputtering yield of water in glow-discharge electrolysis

著者 (7件)： MATSUSHIMA Y (Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN) ,  TEZUKA A (Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN) ,  SUMIDA K (Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN) ,  MAEDA K (Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN) ,  NOMA T (Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN) ,  YAMAZAKI T (Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN) ,  SUZUKI T (Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN)
資料名： Journal of Materials Science Letters  (Journal of Materials Science Letters)
巻： 22  号： 18  ページ： 1259-1260  発行年： 2003年09月15日 
JST資料番号： D0919B  ISSN： 0261-8028  CODEN： JMTSAS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 負電圧を印加した液体上に電極を位置させ,減圧下で高い正の電圧...

シソーラス用語： *グロー放電 ,...

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分類 (2件)： 気体放電  (BJ03020T) ,  スパッタリング  (BK16110U)

タイトルに関連する用語 (6件)： グロー放電 ,  電解 ,  水 ,  スパッタリング ,  歩留り ,  算定