直接追跡可能レーザ干渉計付き原子間力顕微鏡を用いたナノ計測横方向スケールの開発

文献

J-GLOBAL ID：200902243295998174 整理番号：06A0594489

Nanometric lateral scale development using an atomic force microscope with directly traceable laser interferometers

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著者 (7件)：

MISUMI I

MISUMI I について

(National Inst.Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)