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J-GLOBAL ID：200902243298360847   整理番号：08A0188271

極高真空における電界放出電流のゆらぎ

Fluctuations of Field Emission Currents under Extreme High Vacuum

著者 (3件)： CHO B. (Precursory Res. for Embryonic Sci. and Technol. (PRESTO), Japan Sci. and Technol. Agency (JST), JPN) ,  ISHIKAWA T. (Kagami Memorial Lab. for Material Sci. and Technol., Waseda Univ., JPN) ,  OSHIMA C. (Kagami Memorial Lab. for Material Sci. and Technol., Waseda Univ., JPN)
資料名： e-Journal of Surface Science and Nanotechnology (Web)  (e-Journal of Surface Science and Nanotechnology (Web))
巻： 6  ページ： 64-67 (J-STAGE)  発行年： 2008年 
JST資料番号： U0016A  ISSN： 1348-0391  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 7×10^-10Pa以下において,極高真空電界放射顕微鏡(XHV-FEM)を用いておこなった,ノイズ測定の結果を報告する。清浄なタングステン(111)チップにおける電界放出(FE)電流のゆらぎは,対応するショットノイズと同程度であり,電界放出プロセスにおける固有のゆらぎについて調べる際に用いられる,XHV-FEMの妥当性が明らかになった。電界放出電流の片対数減衰曲線は,10時間以上にわたり,直線形となった。10pA~100μAの範囲の電界放出電流のノイズを,7×10^-10Pa以下において測定した。また,ショットノイズの最低周波数の測定を,10Hz以下において記録した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *極高真空 ,  *電界放出 ,  *ゆらぎ ,  *電流 ,  *雑音測定 ,  *電界放出顕微鏡 ,  タングステン ,  *ショット雑音 ,  *吸着ガス ,  一酸化炭素 ,  水素 ,  結晶面 ,  電極チップ ,  減衰特性
準シソーラス用語： ショットノイズ ,  ノイズ測定 ,  *脱気 ,  電界放射顕微鏡

分類 (5件)： 熱電子放出,電界放出  (BM09020S) ,  電流,電圧,電荷の計測法・機器  (AD07020C) ,  真空,高圧操作  (XD02110O) ,  真空技術  (BA02020L) ,  希薄気体力学  (BC04000J)

引用文献 (8件)：

• [1] J. C. H. Spence, Experimental High-Resolution Electron Microscopy (Oxford University Press, Oxford, 1988).
• [2] C. Oshima, R. Souda, M. Aono, and Y. Ishizawa, Appl. Phys. Lett 43, 611 (1983).
• [3] S. Yamamoto, S. Fukuhara, N. Saito, and H. Okano, Surf. Sci. 61, 535 (1976).
• [4] S. Yamamoto, S. Fukuhara, and N. Saito, Surf. Sci. 71, 191 (1978).
• [5] W. Swanson, Surf. Sci. 70, 165L (1978).

タイトルに関連する用語 (3件)： 極高真空 ,  電界放出 ,  ゆらぎ