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J-GLOBAL ID：200902243457053322   整理番号：04A0906536

レジスト膜のサイカスによる剥離強度評価

著者 (2件)： 西山逸雄 (ダイプラ・ウィンテス) ,  堀辺英夫 (高知工高専)
資料名： マテリアルライフ学会研究発表会  (マテリアルライフ学会研究発表会・招待・特別講演会予稿集)
巻： 15th  ページ： 113-114  発行年： 2004年09月06日 
JST資料番号： L3913A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *レジスト ,...
準シソーラス用語： レジスト膜 ,...

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分類 (1件)： 薄膜一般  (BK14010X)

物質索引 (1件)： ヘキサメチルジシラザン

タイトルに関連する用語 (4件)： レジスト膜 ,  カス ,  剥離強度 ,  評価