抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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加熱平板上の空間温度分布の評価は様々な分野において重要な評価対象である。非接触な温度分布の計測手法としてレイリー散乱光を用いた手法が提案されている。加熱平板上の熱対流のような比較的温度差の小さい対象に対しての評価事例は少ない。本文では,レイリー散乱光を用いた手法により,垂直下向き気流中に置かれた加熱シリコンウェハ上での二次元温度分布を15Hzの時間分解能で計測し,熱対流を含む二次元温度分布画像を得た。また時間分解能については今回15Hzの時間分解能で測定したところ,熱対流のマクロ的な挙動などの時間変動が可視化でき,実用上十分な時間分解能であると考えられる。これらの結果より加熱平板近傍の空間温度分布計測に対するレイリー散乱光を用いた手法の適用可能性が示された。