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J-GLOBAL ID：200902243774381602   整理番号：09A1098048

レイリー散乱光を用いた加熱平板上の温度分布の計測

Measurements of two-dimensional temperature distribution over a heated plate by Rayleigh scattering

著者 (4件)： 川北裕司 (新日本空調) ,  磯佑輔 (新日本空調) ,  岡見祐志 (新日本空調) ,  坂本数彦 (新日本空調)
資料名： 可視化情報学会誌  (可視化情報)
巻： 29  号： Suppl.2  ページ： 227-230  発行年： 2009年10月15日 
JST資料番号： S0973B  ISSN： 0916-4731  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 加熱平板上の空間温度分布の評価は様々な分野において重要な評価対象である。非接触な温度分布の計測手法としてレイリー散乱光を用いた手法が提案されている。加熱平板上の熱対流のような比較的温度差の小さい対象に対しての評価事例は少ない。本文では,レイリー散乱光を用いた手法により,垂直下向き気流中に置かれた加熱シリコンウェハ上での二次元温度分布を15Hzの時間分解能で計測し,熱対流を含む二次元温度分布画像を得た。また時間分解能については今回15Hzの時間分解能で測定したところ,熱対流のマクロ的な挙動などの時間変動が可視化でき,実用上十分な時間分解能であると考えられる。これらの結果より加熱平板近傍の空間温度分布計測に対するレイリー散乱光を用いた手法の適用可能性が示された。

シソーラス用語： *Rayleigh散乱 ,  加熱 ,  平板 ,  *温度分布 ,  *ウエハ【IC】 ,  ケイ素 ,  Nd-YAGレーザ ,  CCDカメラ ,  時間分解能 ,  可視化 ,  実験装置 ,  散乱光

分類 (2件)： 温度測定,温度計  (AD06010K) ,  集積回路一般  (NC03161C)

引用文献 (4件)：

• DIBBLE, R. W. Laser Rayleigh thermometry in turbulent flames. 18th Symposium (International) on Combustion, 1981. 1981, 1489-1500
• 吉川典彦. ラマンおよびレーリー散乱による火炎温度の測定. 日本航空宇宙学会誌. 1983, 31, 350, 144-150
• 田村明威. 熱泳動力によるシリコンウェハへの微小パーティクル付着挙動. 第25回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集, 2007. 2007, 111-114
• 松井英章. 熱泳動力によるシリコンウェハへの微小パーティクル付着挙動 (2). 第26回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集, 2008. 2008, 10-13

タイトルに関連する用語 (4件)： レイリー散乱 ,  平板 ,  温度分布 ,  計測