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J-GLOBAL ID:200902243814753559   整理番号:05A0154223

超高性能用途のための金属ゲート電極を持つサブ30nm,マルチブリッジチャネルMOSFET(MBCFET)

Sub 30nm Multi-Bridge-Channel MOSFET (MBCFET) with Metal Gate Electrode for Ultra High Performance Application
著者 (9件):
資料名:
巻: 2004  ページ: 627-630  発行年: 2004年 
JST資料番号: C0829B  ISSN: 0163-1918  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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2007年以降の高性能MOSFET要求に応えるため,FinF...
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分類 (2件):
分類
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トランジスタ  ,  固体デバイス製造技術一般 
タイトルに関連する用語 (5件):
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