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J-GLOBAL ID：200902244630566841   整理番号：06A0095265

空気中に集光されたArFレーザパルス光の吸収過程についての数値解析予測と実験的検証

Numerical Analytic Prediction and Experimental Validation of Focused ArF Laser Pulse Absorption Process in Air

著者 (4件)： 斉藤剛 (産業技術総合研 エネルギー技術研究部門) ,  石黒博樹 (筑波大 大学院理工学研究科) ,  古谷博秀 (産業技術総合研 エネルギー技術研究部門) ,  高橋三余 (産業技術総合研 エネルギー技術研究部門)
資料名： 日本機械学会論文集 B編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series B)
巻： 72  号： 713  ページ： 170-178  発行年： 2006年01月25日 
JST資料番号： F0036B  ISSN： 0387-5016  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ArFエキシマレーザの波長域における酸素分子の吸収係数を計算...

シソーラス用語： *エキシマレーザ ,...

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分類 (1件)： 気体レーザ  (BD04040E)

引用文献 (17件)：

• 齋藤剛. 機論, B. 2003, 69, 680, 1009-1016
• CANN, M. W. P. Can. J. Phys. 1984, 62, 1738-1751
• LEE, M. P. J. Quant. Spectrosc. Radiat Transf. 1986, 36, 5, 425-440
• 平井悦郎. 機論, B. 1996, 62, 595, 888-895
• OKABE, H. Photochemistry of Small Molecules. 1978, 177-184

タイトルに関連する用語 (9件)： 空気中 ,  集光 ,  ArFレーザ ,  パルス光 ,  過程 ,  数値解析 ,  予測 ,  実験 ,  検証