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J-GLOBAL ID：200902245762986170   整理番号：09A0036215

SIMSの極微小部分析に向けて

著者 (2件)： 関節子 (拓殖大) ,  田村一二三 (拓殖大 理工学総研)
資料名： 拓殖大学理工学研究報告  (Bulletin of Science and Engineering, Takushoku University)
巻： 10  号： 2  ページ： 55-59  発行年： 2008年12月10日 
JST資料番号： L0516B  ISSN： 0919-8253  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： SIMSの深さ解析に於ける解像度は試料上に微小な突起を残し,その周囲を除去することにより著しく改善される。突起構造の試料準備を用いて,我々はマイクロメータサイズの非常に小さな試料で良い深さ解像度の深さ解析を試みた。ボロンを注入したケイ素の深さプローファイルを様々なサイズの突起試料で幾つかの要因,例えばラスタ領域,検出領域,ゲートエリア比と一次ビームサイズ等を制御して研究した。その結果,試料がたとえ4μmx8μmと小さいものでも良い解像度で深さプローファイルと感度が上記関連する要因を調整することで成功裏に得られた。

シソーラス用語： *二次イオン質量分析 ,  *深さ分析 ,  *ケイ素 ,  *ドーピング ,  ホウ素 ,  *分解能 ,  因子分析 ,  *突起部
準シソーラス用語： 因子解析

分類 (1件)： 質量分析  (CC03013N)

タイトルに関連する用語 (2件)： SIMS ,  分析