研究者

J-GLOBAL ID：200901077451081803 更新日: 2022年09月13日

関節子

セキセツコ | Seki Setsuko

所属機関・部署：
職名：教授

研究分野 (1件)：薄膜、表面界面物性

研究キーワード (4件)：マイクロビーム応用技術 , 表面物性 , micro-beam technology , Surface characterization

競争的資金等の研究課題 (9件)：

2006 - SIMSの極微小部分析
2001 - 走査型二次イオン像観察装置の開発
2001 - Development of observation equipment for Scanning Secondary Ion Image
1997 - 1999 SIMSにおける高感度測定の研究
1997 - 1999 Study of highly sensitive measurement for SIMS

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MISC (67件)：

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特許 (2件)：

二次イオン質量分析法による試料の深さ方向濃度分布測定方法
多機能試料表面分析装置

書籍 (1件)：

二次イオン質量分析法(分担)
丸善 1999

講演・口頭発表等 (22件)：

Quantification on Micr-area Analysis in SIMS
(7th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices 2009)
Depth profiling of micro-order area by mesa-structure fabrication
(The 17th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry 2009)
メサ構造化によるSIMS微小部分析
(第28回表面科学学術講演会 2008)
微小メサ試料のSIMS深さ分析における濃度決定
(応用物理学会学術講演会 2008)
Micro-area analysis in SIMS depth profiling by mesa-structure preparation
(The 16th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry 2007)

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Works (4件)：

走査型二次イオン像観察装置の開発
2001 -
Development of the observation equipment for the scanning secondary ion image
2001 -
超微細加工用イオン源の開発
1998 -
Development of the focused ion source for hyperfine processing
1998 -

学歴 (4件)：

- 1977 東京大学理学系研究科物理化学
- 1977 東京大学
- 1971 東京大学教養学部基礎科学
- 1971 東京大学

学位 (3件)：

理学博士 (東京大学)
理学修士 (東京大学)
(BLANK)

経歴 (9件)：

1991 - 1998 拓殖大学助教授
1991 - 1998 拓殖大学
1998 - - 拓殖大学教授
1998 - - Takushoku University, professor
1987 - 1991 拓殖大学講師

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委員歴 (1件)：

1993 - 1996 表面科学会評議員

所属学会 (4件)：

粒子線技術開発研究会 , 質量分析学会 , 表面科学会 , 応用物理学会

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