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J-GLOBAL ID：200902246378023964   整理番号：08A0711408

STEM像の解釈(I)

著者 (2件)： 山崎貴司 (東京理大 理) ,  渡辺和人 (東京都産技高専)
資料名： 顕微鏡  (Microscopy)
巻： 43  号： 2  ページ： 125-129  発行年： 2008年06月30日 
JST資料番号： Y0541A  ISSN： 1349-0958  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 高角度環状暗視野走査透過型電子顕微鏡(HAAD STEM)により,格子縞あるいは格子像が撮影できる。電子線干渉性,輝度,収束性と装置安定性が改良され,近年では高分解能電子顕微鏡と同等の空間分解能が得られている。それにより局所領域の原子構造ばかりでなく,電子状態の同時測定も可能になっている。そこでSTEM像を中心に数式による解説を行った。Si(011)のHAAD STEM像を中心に,収束角と分解能の関係,画像処理,構造と濃度の同時測定,弾性散乱と熱散漫散乱などを説明した。

シソーラス用語： *透過型走査電子顕微鏡 ,  *視野 ,  格子像 ,  *原子構造 ,  空間分解能 ,  *電子状態 ,  *局所性 ,  画像処理 ,  *ケイ素 ,  半導体 ,  *暗視野
準シソーラス用語： 高角度環状暗視野走査透過型電子顕微鏡

分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

引用文献 (21件)：

• 1)Pennycook, S.J. and Boatner, L.A.: Nature, 336,565-567(1988)
• 2)Shin, D.H., Kirkland, E.J. and Silcox, J.: Appl. Phys. Lett., 55,2456-2458(1989)
• 3)Pennycook, S.J. and Jesson, D.E.: Phys. Rev. Lett., 64,938-941(1990)
• 4)Pennycook, S.J. and Nellist, P.D.: Impact of Electron and Scanning Probe Microscopy on Material Reseach, Kluwer Academic Publishers, 1999
• 5)Haider, M., Uhlemann, S., Schwan, E., Rose, H., Kabius, B. and Urban, K.: Nature, 392,768-769(1998)

タイトルに関連する用語 (1件)： STEM