プラズマ支援化学気相蒸着により接地した電極上に堆積した水素化ダイヤモンド状カーボン膜における電子捕獲の中性化と放電

YOKOTA Katsuhiro; NAKATANI Takahiro; MIYASHITA Fumiyoshi

文献

J-GLOBAL ID：200902246920967800 整理番号：07A0410105

プラズマ支援化学気相蒸着により接地した電極上に堆積した水素化ダイヤモンド状カーボン膜における電子捕獲の中性化と放電

Neutralization and Discharge of Electron Traps in Hydrogenated Diamond-Like Carbon Films Deposited on Ground Electrode by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition

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資料名：
巻： 46 号： 4A ページ： 1568-1570 発行年： 2007年04月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

プラズマ支援化学気相蒸着により接地電極上のn型Si基板上に低...

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不純物・欠陥の電子構造

引用文献 (6件)：

H. Treichel, B. Withers, G. Ruhl, P. Ansmann, R. Wurl, C. Muller, M. Dietlmeier, and G. Maier: in Handbook of Low and High Dielectric Constant Materials and Their Applications, ed. H. S. Nalwa (Academic. San Diego, 1999) p. 1.
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