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J-GLOBAL ID：200902247146131511   整理番号：07A0638045

ディープRIEを使用してSOIリブ導波路上に製作した大可変広帯域Bragg格子

Largely-tunable wideband Bragg gratings fabricated on SOI rib waveguides employed by deep-RIE

著者 (8件)： HONDA S. (Waseda Univ., Tokyo, JPN) ,  WU Z. (Waseda Univ., Tokyo, JPN) ,  MATSUI J. (Waseda Univ., Tokyo, JPN) ,  UTAKA K. (Waseda Univ., Tokyo, JPN) ,  EDURA T. (Waseda Univ., Tokyo, JPN) ,  TOKUDA M. (Waseda Univ., Tokyo, JPN) ,  TSUTSUI K. (Waseda Univ., Tokyo, JPN) ,  WADA Y. (Waseda Univ., Tokyo, JPN)
資料名： Electronics Letters  (Electronics Letters)
巻： 43  号： 11  ページ： 630-631  発行年： 2007年05月24日 
JST資料番号： A0887A  ISSN： 0013-5194  CODEN： ELLEAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 電子ビームリソグラフィーとディープRIEによりSOI構造のリ...

シソーラス用語： RIE【エッチング】 ,...
準シソーラス用語： リブ導波路

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分類 (2件)： 光デバイス一般  (BD06010L) ,  光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

タイトルに関連する用語 (7件)： RIE ,  SOI ,  リブ導波路 ,  製作 ,  可変 ,  広帯域 ,  Bragg格子