ヘリウムバックグラウンドガスにおけるシリコンナノ粒子のイオンビーム帯電  イオンビームエーロゾル帯電器の設計

文献

J-GLOBAL ID：200902247919145509 整理番号：03A0443389

ヘリウムバックグラウンドガスにおけるシリコンナノ粒子のイオンビーム帯電イオンビームエーロゾル帯電器の設計

Ion beam charging of silicon nanoparticles in helium background gas: Design of the ion beam aerosol charger

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著者 (5件)：

SETO T

SETO T について

(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Tsukuba, JPN)