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J-GLOBAL ID:200902247922836474   整理番号:07A0820271

熱安定金属-絶縁体-金属コンデンサを可能にするSiO2混合による高κ正方晶系HfO2の安定化

Stabilization of higher-κ tetragonal HfO2 by SiO2 admixture enabling thermally stable metal-insulator-metal capacitors
著者 (11件):
資料名:
巻: 91  号:ページ: 072902-072902-3  発行年: 2007年08月13日 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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