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J-GLOBAL ID：200902248544096765   整理番号：08A0312514

環状水素化炭素モノマーを用いたプラズマ支援重合膜特性への堆積温度の影響

Effect of Deposition Temperature on the Thin Polymer Film Properties Deposited by Plasma Enhanced CVD Using Cyclo-Hexa-Hydrocarbon as Monomer

著者 (4件)： 森木一紀 (武蔵工大 工) ,  佐藤徹治 (武蔵工大 工) ,  板橋敦 (武蔵工大 工) ,  湯本雅恵 (武蔵工大 工)
資料名： 電気学会論文誌 A  (IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials)
巻： 128  号： 4  ページ： 268-274  発行年： 2008年04月01日 
JST資料番号： S0808A  ISSN： 0385-4205  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 基板温度が堆積膜の構造,屈折率,堆積速度に及ぼす影響を検討した。また,雰囲気ガスをArから負性プラズマを形成するCF₄に変えて前躯体の分子構造および密度を変化させ,形成膜の構造および成長速度に及ぼす影響を検討した。その結果,1)堆積温度の上昇により屈折率は低下する,2)堆積速度の対数は堆積中の基板温度の逆数に比例する,3)CF₄を用いることで,堆積膜中の二重結合は減少し高分子側鎖にはF原子が結合する,4)Arと比較し堆積速度は約5倍大きくなる,ことを明らかにした。

シソーラス用語： *基板温度 ,  *堆積 ,  *膜 ,  膜構造 ,  屈折率 ,  堆積速度 ,  雰囲気 ,  プラズマCVD ,  非晶質 ,  *光導波路 ,  伝搬特性 ,  *高分子膜
準シソーラス用語： 雰囲気ガス ,  プラズマ支援CVD ,  アモルファス ,  *重合膜

分類 (1件)： 有機化合物の薄膜  (BK14070L)

引用文献 (10件)：

• (1) J. F. Zheng, J. Hanberg, H. V. Demir, V. A. Sabnis, O. Fidaner, J. S. Harris Jr., and D. A. B. Miller : “Novel planerization and passivation in the integration of III-V semiconductor devices”, SPIE's Integrated Optoelectronic Devices 2004 Symposium (Photonic West 2004), Vol. 5356, pp. 81-91 (2004)
• (2) M. Tuominen, T. Russell, J. Penelle, V. Rotello, and T. McCarthy : “Copolymer Templates: A Self-Assembling Route to High-Density Arrays of Functional Nanostructures”, NSF Nanoscale Science and Engineering Grantees Conference., Grant DMI-013024 (2002)
• (3) K. Endo and T. Tatsumi : “Amorphous carbon thin films containing benzene ring for use as low-dielectric-constant interlayer dielectrics”, Appl. Phys. Lett., Vol. 70, pp. 2616-2618 (1997)
• (4) B. Howley, Y. Chen, X. Wang, Q. Zhou, Z. Shi, Y. Jiang, and R. T. Chen : “2-bit Reconfigurable True Time Delay Lines Using 2 × 2 Polymer Waveguide Switches”, IEEE Photon. Technol. Lett., Vol. 17, No. 9, pp. 1944-1946 (2005)
• (5) S. Y. Cho, M. A. Brooke, and N. M. Jokerst : “Optical Interconnections on Electrical Boards Using Embedded Active Optoelectronic Components”, IEEE J. Select. Topics. Quantum. Electron., Vol. 9, No. 2, pp. 465-476 (2003)

タイトルに関連する用語 (9件)： 環状 ,  水素化 ,  炭素 ,  モノマー ,  プラズマ ,  支援 ,  重合 ,  膜特性 ,  堆積