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J-GLOBAL ID：200902248686092112   整理番号：06A0913782

櫛歯型アクチュエータで駆動される3次元マイクロステージの開発(原子間力顕微鏡を用いた基本性能の評価)

Development of Three-Dimensional Microstages Driven by Comb Actuators (Evaluation of Basic Performance Using Atomic Force Microscope)

著者 (1件)： 安藤泰久 (産業技術総合研 先進製造プロセス研究部門)
資料名： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
巻： 72  号： 722  ページ： 3294-3301  発行年： 2006年10月25日 
JST資料番号： F0045B  ISSN： 0387-5024  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 3組の櫛歯型静電アクチュエータで駆動され,x,y,z方向の変...

シソーラス用語： 原子間力顕微鏡 ,...

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分類 (2件)： 電気式制御機器  (IC02020Y) ,  光学顕微鏡,望遠鏡  (QF05050R)

引用文献 (13件)：

• HERSAM, M. C. Silicon-based Molecular Nanotechnology. Nanotechnology. 2000, 11, 2, 70-76
• ISHIDA, T. Scanning Tunneling Microscopy Study of Imaging Change Induced by Electric Field Change of Bipyridine Derivatives in Self-Assembled Monolayers. Japanese Journal of Applied Physics, B. 2004, Part 1, 43, 7, 4561-4565
• BINNING, G. Surface Studies by Scanning Tunneling Microscopy. Physical Review Letters. 1982, 49, 1, 57-61
• UCHIHASHI, T. Role of a Covalent Bonding Interaction in Noncontact-Mode Atomic-Force Microscopy on Si(111)7x7. Physical Review B. 1997, 56, 15, 9834-9840
• RUDNITSKY, RG. Rapid Biochemical Detection and Differentiation with Magnetic Force Microscope Cantilever Arrays. Sensors and Actuators A. 2000, 83, 1-3, 256-262

タイトルに関連する用語 (8件)： 櫛歯 ,  アクチュエータ ,  3次元 ,  マイクロ ,  ステージ ,  開発 ,  原子間力顕微鏡 ,  評価