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J-GLOBAL ID：200902248992004618   整理番号：09A0756728

XPS測定間の試料損傷の定量化と標準化のためのラウンドロビン試験

Round Robin Test for the Quantification and Standardization of Sample Damage during XPS Measurements

著者 (12件)： KURAYAMA F. (Utsunomiya Univ., Utsunomiya, JPN) ,  SUZUKI N. (Utsunomiya Univ., Utsunomiya, JPN) ,  SATO M. (Utsunomiya Univ., Utsunomiya, JPN) ,  FURUSAWA T. (Utsunomiya Univ., Utsunomiya, JPN) ,  ISAHARA H. (Utsunomiya Univ., Utsunomiya, JPN) ,  KIKUCHI Y. (Utsunomiya Univ., Utsunomiya, JPN) ,  FUKUSHIMA S. (National Inst. Materials Sci., Tsukuba, JPN) ,  TAKANO M. (Panasonic Electronic Devices Co., Ltd., Kadoma, JPN) ,  IWASE E. (Asahi Kasei Corp., Fuji, JPN) ,  INOUE R. (ULVAC-PHI, Inc, Chigasaki, JPN) ,  SATO M. (Mitsubishi Materials Co., Saitama, JPN) ,  ITOH T. (Mitsubishi Materials Co., Saitama, JPN)
資料名： Journal of Surface Analysis  (Journal of Surface Analysis)
巻： 16  号： 1  ページ： 2-11  発行年： 2009年06月29日 
JST資料番号： L3852A  ISSN： 1341-1756  CODEN： JSANFX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 表面解析の分野で,X線光電子分光法(XPS)は試料中の表面化学組成と元素の深さプロファイルの両方を決定するための強力な武器として認識されてきた。一方,XPS測定の間で有機試料の劣化は,多くの有機物の表面が測定環境によって影響されるので重要な問題として常に考えられてきた。さらに,試料の劣化はまた,機器の設定に依存する。それゆえ,異なった機器間で測定された光電子強度から得られた元素の量に関する情報を得て,比較することは困難である。筆者らは,XPS測定の間での試料劣化を評価するために,ラウンドロビン試験を4種類の試料で実行した。結果は,試料の損傷係数のランクオーダーが各装置でほとんど同じであったが,得られた値は装置の間で異なっていた。一方,相対X線線量を計算するためのAuとAg基板の比較から,これら2つの金属基板を使用する損傷係数はほとんど等価であることがわかった。取扱いの便利さとスパッタリングプロセスを考えると,筆者らは,Au基板が相対X線線量を評価するために指標物質により適していると結論した。さらに,相対損傷係数RDF,すなわち基準物質としてPFDT-Auのそれによって分割された各物質の損傷係数は装置の差異に依存せず,各試料に対して近い値を示した。結論として,基準物質としてRFDT-Auを使用するRDFは試料劣化を評価するための有用な情報を提供し,データベースの構築はRFDT-Auの劣化挙動を測定することによって試料劣化の予測を可能にするだろう。

シソーラス用語： *X線光電子分光法 ,  計測 ,  *照射損傷 ,  劣化 ,  試料 ,  基板 ,  金 ,  *X線 ,  放射線量 ,  係数 ,  *標準化 ,  *共同比較試験
準シソーラス用語： XPS法 ,  試料劣化 ,  相対損傷係数 ,  *定量化 ,  ラウンドロビン試験

分類 (1件)： 電子分光スペクトル  (BM09060K)

引用文献 (22件)：

• I. Tunc and S. Suzer, J. Phys. Chem. B 109, 7597(2005).
• L. Qiu, F. Liu, L. Zhao, W. Yang, and J. Yao, Langmuir, 22, 4480(2006).
• S.-W. Zhang, S.-X. Zhou, Y.-M. Weng, and L.-M. Wu, Langmuir, 22, 4674(2006).
• Y. Jiang, L. Zhang, D. Yang, L. Li, Y. Zhang, J. Li, and Z. Jiang, Ind. Eng. Chem. Res.47, 2495(2008).
• L. Wang, Y. Tian, H. Ding, and J. Li, Eur. Polym. J.42, 2921(2006).

タイトルに関連する用語 (6件)： XPS ,  試料 ,  損傷 ,  定量化 ,  標準化 ,  ラウンドロビン試験