文献

J-GLOBAL ID：200902248999687745   整理番号：07A1055977

4探針型原子間力顕微技術による局所領域における導電率の定量評価

Measurement of Local Electrical Conductivity by Four-Point Probe Atomic Force Microscope Technique

著者 (2件)： 巨陽 (東北大学大学院工学研究科) ,  坂真澄 (東北大学大学院工学研究科)
資料名： 材料  (Journal of the Society of Materials Science, Japan)
巻： 56  号： 10  ページ： 896-899 (J-STAGE)  発行年： 2007年 
JST資料番号： F0385A  ISSN： 0514-5163  CODEN： ZARYA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 4探針型原子間力顕微鏡(4P-AFM)プローブおよびこれを利...

シソーラス用語： *原子間力顕微鏡 ,...
準シソーラス用語： 4探針型

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=07A1055977&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0385A") }}

分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

引用文献 (10件)：

• 1) A. V. Ermakov and B. J. Hinch, “Application of a novel contactless conductivity sensor in chemical vapor deposition of aluminum films”, Review of Scientific Instruments, Vol.68, No.8, pp.1571-1574 (1997).
• 2) Y. Ju, K. Inoue, M. Saka and H. Abé, “Contactless measurement of electrical conductivity of semiconductor wafers using the reflection of millimeter waves”, Applied Physics Letters, Vol.81, No.19, pp.3585-3587 (2002).
• 3) C. G. Wiegenstein and K. H. Schulz, “A four-points surface conductivity probe suitable for in situ ultrahigh vacuum conductivity measurements”, Review of Scientific Instruments, Vol.68, No.4, pp.1812-1813 (1997).
• 4) S. Hasegawa, X. Tong, C. S. Jiang, Y. Nakajima and T. Nagao, “Electrical conduction via surface-state bands”, Surface Science, Vol.386, No.1-3, pp.322-327 (1997).
• 5) C. L. Petersen, T. M. Hansen, P. Bøggild, A. Boisen, O. Hansen, T. Hassenkam and F. Grey, “Scanning microscopic four-point conductivity probes”, Sensors and Actuators A : Physical, Vol.96, No.1, pp.53-58 (2002).

タイトルに関連する用語 (4件)： 探針 ,  原子間力 ,  導電率 ,  定量評価