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J-GLOBAL ID:200902250512742856   整理番号:08A0823763

3台のリニアサーボモータによる工作機械台の相互作用モード制御

Interaction Mode Control for the Machine Tool Table with Three Linear Servo Motors
著者 (6件):
資料名:
巻:号:ページ: 482-492 (J-STAGE)  発行年: 2008年 
JST資料番号: U0027A  ISSN: 1881-3054  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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摩擦やバックラッシュの無い精密位置決めと高速性を実現するために,工作機械の位置決め機構としてリニアモータ駆動機構が採用されている。しかし,2台以上のリニアモータを使用すると,各モータの推力間の微妙な差が微小振動の発生と,重心周りの偏揺れで生ずる各リニアモータの速度変化が引き起こされる。本研究は,重心の位置,曲げ,偏揺れとして独立に定義された3つのモードを制御するために,3台のリニアモータで駆動された工作機械台の相互作用モード制御法を提案した。相互作用モード制御法は,モード変換による実際の制御系に対する作業空間に従って定義された相互作用モードを適用するための新しい方法である。シミュレーションおよび実験の結果から,3つのモードは独立に制御され,従って曲げと偏揺れは相互作用モード制御を用いて抑制できることを検証した。さらに,相互作用モード制御法をじょう乱オブサーバとフィードフォワード制御と組み合わせることで,この制御システムは高いロバスト性を持ち,精密位置決めが実現できる。(翻訳著者抄録)
シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
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分類 (2件):
分類
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電気式制御機器  ,  電動機 
引用文献 (10件):
  • (1) Neou, J. et al., Investigation of the Microscopic Performance of an Aerostatic Precision Positioning Stage Driven by the Air-lubricated Friction Drive, The Third International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, Vol. 3, No. 05-204 (2005), pp 1003-1008.
  • (2) Mizumoto, H. et al., A Picometer Positioning System using Active Aerostatic Guideway, The Third International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, Vol. 3, No. 05-204 (2005), pp 1009-1014.
  • (3) Hashimoto, S. et al., Ultra-Precision Stage Control Based on Friction Model of Non-Resonant Ultrasonic Motor, The 8th IEEE International Workshop on Advanced Motion Control, (2004), pp. 559-564.
  • (4) Maeda, J. G. et al., Control of an XY Nano-Positioning Table for a Compact Nano-Machine Tool, The Third International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, Vol. 3, No. 05-204 (2005), pp. 987-992.
  • (5) Fujita, T. et al., Dynamic Characteristics and Positioning Performance of Piezoactuator-integrated Ball Screw Drive, Proceedings of the 4th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, No. 07-205 (2007), pp 507-510.
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