スパッタしたSnO<sub>2</sub>膜のH<sub>2</sub>ガス検出特性への密度及び厚さの効果

文献

J-GLOBAL ID：200902250540623064 整理番号：05A0304393

スパッタしたSnO₂膜のH₂ガス検出特性への密度及び厚さの効果

Effect of density and thickness on H₂-gas sensing property of sputtered SnO₂ films

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資料名：
巻： 77 号： 3 ページ： 237-243 発行年： 2005年02月18日
JST資料番号： E0347A ISSN： 0042-207X 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

種々のスパッタ条件で堆積し,アンドープ及びPdドープSnO<...

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分析機器 , 酸化物薄膜

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