抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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「超精密位置決め専門委員会」の5つの小委員会の中にアンケート小委員会があり,この委員会の役割は位置決め技術の現状と変遷,そして現時点および将来的に発生しうる具体的な問題点などについて調査することにある。本報では第6回目(2006年)に実施した超精密位置決めにおけるアンケート調査結果の内容を中心に超精密位置決め技術の最近の動向について解説した。主な内容項目を次に示した。1)位置決めグレードの認識:精密/超精密位置決め精度の認識変遷および限界の認識,2)回答者が関心をもっている装置の詳細:関心をもっている装置の仕様(対象装置の種類,関心のある位置決め装置の形態,対象装置の主要仕様(位置決めの範囲,可動部の質量,最大送り速度,最大加速度)の分布と変遷),位置決め精度,使用している機器・要素(採用された主要要素(アクチュエータ,案内要素,運動伝達要素)の分布,位置センサの種類と分解能),制御系(制御理論),3)理想とする位置決め装置,4)位置決めに関する意見・提言,5)むすび:集計結果から明らかになったこと(「精密」を1μm前後,「超精密」を10nm程度とするイメージ,位置決め精度の限界,高速度化・高加速度化および長ストローク化への要望からリニアモータの採用増化,センサ系の性能向上とリニアエンコーダの使用進展)。
