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J-GLOBAL ID：200902255194082061   整理番号：09A1032841

フェムト秒レーザーリソグラフィの開発とその3次元フォトニック結晶加工への応用

著者 (6件)： 三澤弘明 (北大 電子科研) ,  JUODKAZIS Saulius (北大 電子科研) ,  MIZEIKIS Vygantas (静岡大) ,  SUN Quan (北大 電子科研) ,  上野貢生 (北大 電子科研) ,  高畠聡章 (北大 電子科研)
資料名： 高分子学会予稿集(CD-ROM)  (高分子学会討論会予稿集(CD-ROM))
巻： 58  号： 2 Disk1  ページ： ROMBUNNO.1L1-10  発行年： 2009年09月01日 
JST資料番号： Z0703C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *レーザリソグラフィー ,  *パルスレーザ ,  構造 ,  光重合 ,  表面プラズモン ,  有機-無機ハイブリッド ,  ジルコニウム ,  ケイ素 ,  微細構造 ,  *レジスト ,  脂肪酸 ,  オレフィン化合物 ,  不飽和カルボン酸 ,  *フェムト秒レーザ ,  フォトニック結晶
準シソーラス用語： 三次元構造

分類 (2件)： その他の高分子の反応  (CG03040H) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (1件)： メタクリル酸

タイトルに関連する用語 (5件)： フェムト秒レーザー ,  リソグラフィ ,  開発 ,  3次元フォトニック結晶 ,  応用