(100)シリコン上の{110}反射面の異方性エッチングにおけるTriton界面活性剤の役割

RESNIK Drago; VRTACNIK Danilo; ALJANCIC Uros; MOZEK Matej; AMON Slavko

文献

J-GLOBAL ID：200902255321728340 整理番号：05A0607335

(100)シリコン上の{110}反射面の異方性エッチングにおけるTriton界面活性剤の役割

The role of Triton surfactant in anisotropic etching of {1 1 0} reflective planes on (1 0 0) silicon

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資料名：
巻： 15 号： 6 ページ： 1174-1183 発行年： 2005年06月
JST資料番号： W1424A ISSN： 0960-1317 CODEN： JMMIEZ 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

光ファイバからの,または光ファイバへの光ビームを偏向するため...

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固体デバイス製造技術一般 , その他の表面処理

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