電子ビーム誘起蒸着を用いるSiO<sub>2</sub>基板上のタングステンナノデンドライトの成長

XIE Guoqiang; SONG Minghui; MITSUISHI Kazutaka; FURUYA Kazuo

文献

J-GLOBAL ID：200902255983220649 整理番号：05A0508611

電子ビーム誘起蒸着を用いるSiO₂基板上のタングステンナノデンドライトの成長

Growth of Tungsten Nanodendrites on SiO₂ Substrate Using Electron-Beam-Induced Deposition

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資料名：
巻： 5 号： 4 ページ： 615-619 発行年： 2005年04月
JST資料番号： W1351A ISSN： 1533-4880 CODEN： JNNOAR 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

高電圧透過型電子顕微鏡における標題成長プロセスにおける加速電...

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金属薄膜

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電子ビーム誘起蒸着を用いるSiO2基板上のタングステンナノデンドライトの成長

電子ビーム誘起蒸着を用いるSiO₂基板上のタングステンナノデンドライトの成長