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J-GLOBAL ID：200902256682942521   整理番号：03A0685171

光応用計測用MEMS光スキャナ

著者 (3件)： 高橋良文 (アンリツ) ,  竹内雄二 (アンリツ) ,  藤田博之 (東大 生産技研)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 123  号： 10  ページ： 403-409  発行年： 2003年10月01日 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 光応用計測システムのため,MEMS技術を用いて,電磁駆動光ス...

シソーラス用語： *レーザスキャナ ,...
準シソーラス用語： 光MEMS

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分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (5件)：

• (1) H. Miyajima, N. Asaoka, M. Arima, Y. Minamoto, K. Murakami, K.Tokuda, and K. Matsumoto: An electromagnetic optical scanner with polyimide-based hinges, Digest of Technical Papers of the 10th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, Vol. 1, pp372-375 (1999)
• (2) N. Asada and M. Takeuchi: “Silicon Micro-Optical Scanner,” Digest of Technical Papers of the 10th International Conference on Solid-state Sensors and Actuators, Vol. 1, pp778-781 (1999)
• (3) 駒井謙治郎·箕島弘二·俵 秀男·井上茂道·砂子勝好:「微小材料機械的特性評価試験機の試作とシリコン単結晶微小素子の破壊特性評価」,日本機械学会論文集(A編),60,569号 pp52-58 (1994-1)
• (4) G. Reyne, L. Houlet, Y. Takahashi, T. Bourouina, and H. Fujita: Advantages and examples of electromagnetic actuation for MOEMS: about scale reduction law and remote control, Mechatronics’01, 5th France-Japanese Congress & 3rd European-Asian congres on Mechatronics, Besancon, France, October 9-11, pp. 586-591 (2001).
• (5) G. Reyne, L. Houlet, Y. Takahashi, T. Bourouina, and H. Fujita: Electromagnetic Remote Control and Down Scaling Advantages and Examples for MOEMS, MICRO/MEMS 2001, SPIE’s International Symposium on Microelectronics and Micro-Electro-Mechanical Systems, Adelaide, Australia, December 17-19, Vol. 4592, pp205-215 (2001)

タイトルに関連する用語 (3件)： 光応用計測 ,  MEMS ,  光スキャナ