抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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近年,各種携帯・情報機器の小型化・高性能化は目覚しく,これらの生産設備におけるモーションコントロール技術の高性能化は必須である。その要素技術の一つに,高速・高精度な位置決め制御が挙げられ,フィードフォワード補償を併用した2自由度制御系は有効な手段である。本論文では,移動距離,目標位置決め時間が異なる様々なPTP制御において,高速・高精度な位置決め制御を実現する,制御入力の周波数整形を考慮した有限ステップ整定フィードフォワード補償方式を提案した。本手法によれば,位置指令が到達する目標位置と,位置指令が目標位置に到達するまでのステップ数を定めるのみで,任意の移動距離,目標位置決め時間を実現することが可能である。また,提案のフィードフォワード補償器は,Jerk最小化と制御入力の特定周波数帯の抑制を考慮して導出するため,高次振動モードのモデル化誤差による位置決め精度劣化を抑制可能とする。提案手法は,供試ガルバノスキャナ位置決め装置を用いて検証されており,有効性を実証した。