文献

J-GLOBAL ID：200902258557057985   整理番号：08A0969879

ナノインデンテーション挙動のFEMシミュレーションによる基板上薄膜の力学特性評価

Mechanical Property Evaluation of films on a Substrate with the FEM Simulation of Nanoindentation

著者 (4件)： 犬塚隼人 (東京工大 大学院) ,  赤津隆 (東京工大 応セラ研) ,  篠田豊 (東京工大 応セラ研) ,  若井史博 (東京工大 応セラ研)
資料名： 日本機械学会年次大会講演論文集  (日本機械学会年次大会)
巻： 2008  号： Vol.1  ページ： 303-304  発行年： 2008年08月02日 
JST資料番号： X0587B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 先端の鋭い圧子を用いた膜1基板2層体への弾性押込みを有限要素法でシミュレートし,その結果を数値解析した。膜1基板2層体上の押込みでは,一般的な弾性押込みの特徴である押込み荷重Pが押込み深さhの二乗に比例する関係が認められないが,本研究で見出した経験式によって,その挙動はうまく再現できることがわかった。この経験式を用いることで,基板の弾性特性と膜厚が既知であるならば,押込み挙動から膜の弾性特性を繰返し計算により,推定できることがわかった。(著者抄録)

シソーラス用語： *ナノインデンテーション ,  有限要素法 ,  シミュレーション ,  数値解析 ,  *基板 ,  *押込 ,  実験式 ,  *膜厚 ,  *薄膜 ,  圧子
準シソーラス用語： 経験式

分類 (1件)： 固体デバイス材料  (NC03020K)

タイトルに関連する用語 (6件)： ナノインデンテーション ,  挙動 ,  FEMシミュレーション ,  薄膜 ,  力学特性 ,  評価