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J-GLOBAL ID：200902258780458240   整理番号：09A0532977

超共形Cu無電解析出における2-メルカプト-5-ベンゾイミダゾールスルホン酸の効果

Effect of 2-Mercapto-5-benzimidazolesulfonic Acid in Superconformal Cu Electroless Deposition

著者 (4件)： LEE Chang Hwa (Seoul National Univ., Seoul, KOR) ,  KIM Ae Rim (Seoul National Univ., Seoul, KOR) ,  KOO Hyo-Chol (Seoul National Univ., Seoul, KOR) ,  KIM Jae Jeong (Seoul National Univ., Seoul, KOR)
資料名： Journal of the Electrochemical Society  (Journal of the Electrochemical Society)
巻： 156  号： 6  ページ： D207-D210  発行年： 2009年 
JST資料番号： C0285A  ISSN： 1945-7111  CODEN： JESOAN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 硫酸銅,エチレンジアミン四酢酸およびパラホルムアルデヒドを含む水溶液からの銅無電解析出における2-メルカプト-5-ベンゾイミダゾールスルホン酸(MBIS)の添加物効果を検討した。MBISは低濃度では銅の析出を促進し,高濃度では銅の析出を抑制することを明らかにした。MBISの銅析出促進効果は主にカソード反応と関連する一方,MBISはアノード反応においてホルムアルデヒドの酸化を抑制することを示した。MBISを添加すると幅500nmのトレンチの底で銅の優先析出が可能であった。ポリ(エチレングリコール)を添加すると表面平坦性が改善されることを示した。

シソーラス用語： *無電解めっき ,  *銅 ,  *プリント基板 ,  濃度依存性 ,  *添加物効果 ,  アノード酸化 ,  カソード還元 ,  脂肪族アルデヒド ,  重合体 ,  ポリエチレンオキシド ,  脂肪族アミン ,  脂肪族カルボン酸 ,  アミノカルボン酸 ,  ジアミン
準シソーラス用語： *PWB ,  パラホルムアルデヒド ,  ポリエチレングリコール

分類 (2件)： 固-液界面  (CB12050B) ,  イミダゾール  (CF07083X)

物質索引 (2件)： 2-メルカプト-1H-ベンゾイミダゾール-5-スルホン酸 ,  エチレンジアミン四酢酸

タイトルに関連する用語 (4件)： Cu ,  無電解析出 ,  ベンゾイミダゾール ,  スルホン酸