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J-GLOBAL ID：200902260462888230   整理番号：07A0144998

ソフト電子ビームリソグラフィーを用いた連珠状無機ナノ構造の製作と構造評価

Fabrication and Structural Evaluation of Beaded Inorganic Nanostructures Using Soft Electron-Beam Lithography

著者 (3件)： DONTHU Suresh (Northwestern Univ., IL, USA) ,  SUN Tao (Northwestern Univ., IL, USA) ,  DRAVID Vinayak (Northwestern Univ., IL, USA)
資料名： Advanced Materials  (Advanced Materials)
巻： 19  号： 1  ページ： 125-128  発行年： 2007年01月08日 
JST資料番号： W0001A  ISSN： 0935-9648  CODEN： ADVMEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ソフト電子ビームリソグラフィーを用いて,酸化亜鉛やビスマスフ...

シソーラス用語： *電子ビームリソグラフィー ,...
準シソーラス用語： リフトオフ

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分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V) ,  原子・分子のクラスタ  (BH09030O)

タイトルに関連する用語 (5件)： ソフト ,  電子ビームリソグラフィー ,  ナノ構造 ,  製作 ,  構造評価