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J-GLOBAL ID：200902260920036302   整理番号：06A0164060

イオン注入により生じた残留応力を測定する押込み法

Indentation method to measure the residual stress induced by ion implantation

著者 (5件)： WANG Q. (AIST, Tsukuba, JPN) ,  OZAKI K. (AIST, Tsukuba, JPN) ,  ISHIKAWA H. (Univ. Electro-Communications, Tokyo, JPN) ,  NAKANO S. (AIST, Tsukuba, JPN) ,  OGISO H. (AIST, Tsukuba, JPN)
資料名： Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 242  号： 1-2  ページ： 88-92  発行年： 2006年01月 
JST資料番号： H0899A  ISSN： 0168-583X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (3件)： イオン注入 ,  残留応力 ,  押込み