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J-GLOBAL ID：200902261049033184   整理番号：09A0216242

軟X線を利用した光学顕微鏡の世界

著者 (1件)： 山本正樹 (東北大 多元物質科研 先端計測開発セ)
資料名： Isotope News  (Isotope News)
号： 659  ページ： 2-6  発行年： 2009年03月01日 
JST資料番号： G0331A  ISSN： 0285-5518  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 軟X線を利用した光学顕微鏡について,著者らが開発した多層膜結像鏡による反射型光学顕微鏡の進展をもとに概説した。開発した顕微鏡は反射鏡で照明光学系とシュワルツシルト型の拡大対物光学系を構成する反射光学系に軟X線の元素判別機能が加わったもので,厚さ0.2μm程度以下で物質を選ばず,水を含む場合でも元素で色づいた顕微像を高い分解能で撮像できる特長がある。この光学顕微鏡TXM³(透過X線多層膜鏡顕微鏡)は波長13.5nm用で,光源はレーザ生成プラズマであり,モリブデン及びシリコンの薄膜を積層した多層膜球面鏡を用いる。TXM³による高分子マイクログリッドの撮像例を示した。シュワルツワルト対物鏡の光学設計を球面から非球面へ拡張して凹面鏡2枚合わせ鏡顕微鏡を開発し,大きいアライメント許容量を実現した。凹面鏡2枚合わせ鏡顕微鏡の模式図並びに撮像例としてポリスチレン球及びショウジョウバエの羽の毛を示した。

シソーラス用語： *光学顕微鏡 ,  *軟X線 ,  多層膜 ,  反射鏡 ,  モリブデン ,  ケイ素 ,  非球面鏡 ,  凹面鏡 ,  アラインメント ,  元素分析 ,  生体試料 ,  波長依存性 ,  透過率 ,  限界
準シソーラス用語： シリコン ,  回折限界

分類 (2件)： 光学顕微鏡,望遠鏡  (QF05050R) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

引用文献 (6件)：

• 波岡武編. X線結像光学. 1999
• 渡辺誠編. 放射光科学入門. 2004
• 青木貞雄. 軟X線顕微鏡の最近の進歩と応用. 光技術コンタクト. 2007, 45, 5-12
• HORIKAWA, Y. Proc. SPIE. 1992, 1720, 217-225
• TOYODA, M. Opt. Rev. 2006, 13, 1-9

タイトルに関連する用語 (3件)： 軟X線 ,  光学顕微鏡 ,  世界