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J-GLOBAL ID：200902261418363126   整理番号：08A1101412

SrZrO₃ターゲットのレーザアブレーションによる堆積膜の元素組成の角度分布

Angular distribution of elemental composition of films deposited by laser ablation of a SrZrO₃ target

著者 (4件)： KONOMI I. (Toyota Technological Inst., 2-12-1 Hisakata, Tempaku-ku, Nagoya 468-8511, Japan and Toyota Central Res. and Dev. ...) ,  MOTOHIRO T. (Toyota Technological Inst., 2-12-1 Hisakata, Tempaku-ku, Nagoya 468-8511, Japan and Toyota Central Res. and Dev. ...) ,  HORII M. (Toyota Central Res. and Dev. Laboratories, Inc., 41-1 Yokomichi, Nagakute, Aichi 480-1192, JPN) ,  KAWASUMI M. (Toyota Central Res. and Dev. Laboratories, Inc., 41-1 Yokomichi, Nagakute, Aichi 480-1192, JPN)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 26  号： 6  ページ： 1455  発行年： 2008年11月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 酸化ペロブスカイトSrZrO₃のレーザアブレーションによって作製した膜の元素成分の角度分布を,波長分散分光計を有する電子プローブ微小解析を用いて調べた。各々構成元素は幅広のcos^mθ(m=2-3)分布と鋭いcosⁿθ(n=8-23)分布の2個の成分分布を示す。酸素はSr並びにZrに比べて幅広の分布を示す。表面に垂直方向に近い極角(極角<12°)では,Zr濃度が真空中のSrより高く,酸素含有雰囲気中では濃度はほぼ同程度になる。1.3Pa以下の酸素圧では,Sr及びZr濃度は各々極角とともに増大並びに減少する。一方,10Pa以上の酸素分圧中では両元素の分布は何らの角度依存性も示さない。10Pa以上の酸素分圧下で堆積を行うと,全ての元素に対して角度分布の広幅化がみられた。これは,周囲ガス分子と10回以上の衝突散乱によって引き起こされたものと考えられる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： ストロンチウム化合物 ,  ジルコニウム酸塩 ,  ターゲット ,  *レーザアブレーション ,  *蒸着膜 ,  元素 ,  *化学組成 ,  角分布 ,  ペロブスカイト型結晶 ,  分光計 ,  電子プローブX線分析 ,  酸素 ,  垂直方向 ,  ストロンチウム ,  ジルコニウム ,  真空 ,  濃度 ,  角度依存性 ,  分圧 ,  散乱
準シソーラス用語： 波長分散

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  レーザ照射・損傷  (BK16040S)

タイトルに関連する用語 (5件)： ターゲット ,  レーザアブレーション ,  堆積 ,  元素組成 ,  角度分布