チップ・スケール風洞付きのマイクロ・エアブリッジ・ヒーターを使った熱式風速計

文献

J-GLOBAL ID：200902263085850884 整理番号：05A0958373

Thermal Anemometer Using Micro-Air-Bridge Heater with Chip Scale Wind Tunnel

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資料名：
巻： 22nd ページ： 143-146 発行年： 2005年10月20日
JST資料番号： X0768A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

シリコンのマイクロマシニング手法で作製した新しいセンサチップ...

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気象学一般 , 固体デバイス製造技術一般

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