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J-GLOBAL ID：200902263096720494   整理番号：08A0087890

蒸気と水の混合噴流による洗浄技術の開発

Development of Cleaning Technique by Using Spray Mixed with Steam and Water

著者 (6件)： 真田俊之 (静岡大 工) ,  齋藤隆之 (静岡大) ,  林田充司 (アクアサイエンス) ,  斉藤輝夫 (アクアサイエンス) ,  山瀬雅男 (アクアサイエンス) ,  渡部正夫 (九大 大学院工学研究院)
資料名： 噴流工学  (Journal of Jet Flow Engineering)
巻： 24  号： 3  ページ： 4-10  発行年： 2008年01月18日 
JST資料番号： L1111A  ISSN： 1341-3279  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 蒸気と水の混合噴流を用いた新しい洗浄技術を開発した。従来型の...

シソーラス用語： 水蒸気 ,...

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分類 (2件)： 特殊加工  (QC04000Y) ,  噴流  (BC02080F)

引用文献 (9件)：

• 大見忠弘, 半導体製造プロセスと材料, シーエムシー出版 (2005).
• W. Kern and D. A. Puotinen, Clean Solutions Based on Hydrogen Peroxide for Use in Silicon Semiconductor Technology, RCA Review 31, pp. 187-206(1970).
• 服部毅, シリコンウェーバ表面のクリーン化技術, リアライズ社 (1995).
• M. Rein, Phenomena of liquid drop impact on solid and liquid surfaces, Fluid Dynamics Research 12, pp. 61-93(1993).
• K. K. Haller, Y. Ventikos and D. Poulikakos, Computational study of high-speed liquid droplet impact, Journal of Applied Physics, 92-5, pp. 2821-2828(2002).

タイトルに関連する用語 (5件)： 蒸気 ,  水 ,  噴流 ,  洗浄 ,  開発