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J-GLOBAL ID：200902263422884931   整理番号：09A0800193

Agナノ粒子のレーザ焼成特性への波長効果

Influence of Wavelength on Laser Sintering Characteristics of Ag Nanoparticles

著者 (7件)： MAEKAWA Katsuhiro (Ibaraki Univ., Ibaraki, JPN) ,  YAMASAKI Kazuhiko (Ibaraki Univ., Ibaraki, JPN) ,  NIIZEKI Tomotake (JST Innovation Satellite Ibaraki, Ibaraki, JPN) ,  MITA Mamoru (Mita Engineering Office, Ibaraki, JPN) ,  MATSUBA Yorishige (Harima Chemicals, Inc., Ibaraki, JPN) ,  TERADA Nobuto (Harima Chemicals, Inc., Ibaraki, JPN) ,  SAITO Hiroshi (Harima Chemicals, Inc., Ibaraki, JPN)
資料名： Proceedings. Electronic Components & Technology Conference  (Proceedings. Electronic Components & Technology Conference)
巻： 59th Vol.3  ページ： 1579-1584  発行年： 2009年 
JST資料番号： H0393A  ISSN： 0569-5503  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Agナノ粒子ペーストを用いた配線とポリイミド膜上でのそのレーザ焼成特性への波長効果について調べた。その焼成に,CW Nd:YAGレーザ(1064nm波長),CWレーザダイオード(980nm波長),CW緑色レーザ(532nm波長)とCW Ar⁺レーザ(488nm波長)を用いた。集束イオンビーム(FIB)観測と引張り-せん断試験により,焼成機構とポリイミド基板との密着性を詳細に調べた。ペースト上で高吸収を有するレーザ波長は,可視光範囲即ち約420nmであり,近赤外レーザと比べ,焼成したワイヤとポリイミド基板間で高接着強度を得た。可視レーザにより焼成したAg微細構造は,近赤外レーザより多孔質であった。近赤外レーザにより焼成したAgワイヤの比抵抗は,可視レーザより小さかった。これらの結果を吸収スペクトルの差により説明できた。低電力出力の可視レーザの場合,急速なメタライゼーションがペースト表面から進行した。このペースト表面からの急速なメタライゼーションが溶剤と分散剤の蒸発を困難にし,大型孔をもつ不充分な焼成を生じた。対照的に,少吸収度の近赤外レーザは,基板を最初に加熱し,次に,容易な蒸発が構造を高密化するように,メタライゼーションがペースト表面まで発達した。レーザ焼成Agワイヤは,電気炉内で硬化した場合と殆ど類似した特性(比抵抗を除く)を示し,比抵抗は,電気炉内硬化より2倍高抵抗であるが,低比抵抗を得た。

シソーラス用語： *銀 ,  *ナノ粒子 ,  *焼結 ,  *レーザ加熱 ,  *波長依存性 ,  配線 ,  *相互接続 ,  ペースト ,  引張試験 ,  剪断試験 ,  集束イオンビーム ,  Nd-YAGレーザ ,  レーザ焼結

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： Agナノ粒子 ,  レーザ ,  焼成 ,  波長