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J-GLOBAL ID：200902263897854131   整理番号：05A0891160

「高温場における変形・流動特性評価」レーザー顕微鏡と光干渉法を組み合わせたミクロンサイズ薄膜熱膨張測定の試み

Deformation and Flow Characterization in High-Temperature Fields Coefficient of Thermal Expansion Measurement of Thin Film by using Laser Scanning Confocal Microscopy

著者 (4件)： 三浦誠司 (北大 大学院工学研究科) ,  岡和彦 (北大 大学院工学研究科) ,  大久保賢二 (北大 大学院工学研究科) ,  毛利哲雄 (北大 大学院工学研究科)
資料名： 実験力学  (JSEM)
巻： 5  号： 3  ページ： 197-202  発行年： 2005年09月25日 
JST資料番号： L4590A  ISSN： 1346-4930  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： MEMSデバイス用材料の基本特性である薄膜の熱膨張率について...

シソーラス用語： *薄膜 ,...
準シソーラス用語： 共焦点レーザ走査顕微鏡

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分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  その他の熱的変量の計測法・機器  (AD06040R)

引用文献 (16件)：

• FANG, W. On the thermal expansion coefficients of thin films. Sensor and actuators. 2000, 84, 310-314
• TERADA, Y. Thermal Conductivity and Thermal Expansion of Ir_3X (X=Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta) Compounds for High-temperature Applications. Materials Chemistry and Physics. 2003, 80, 385-390
• TERADA, Y. Thermal Conductivity and Thermal Expansion of L1_2 Intermetallic Compounds Based on Rhodium. Journal of Alloys and Compounds. 2003, 354, 202-207
• 吉葉正行. ガスタービン用耐熱コーティング技術. エンジンテクノロジー. 2004, 6, 5, 40-46
• NARITA, T. The role of Bond Coat in Advanced Thermal Barrier Coating. Materials Science Forum. 2005, 502, 99-104

タイトルに関連する用語 (9件)： 高温場 ,  流動特性 ,  評価 ,  レーザー顕微鏡 ,  光干渉法 ,  ミクロンサイズ ,  薄膜 ,  熱膨張測定 ,  試み