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J-GLOBAL ID：200902265033145433   整理番号：07A1048403

時定数操作によるフォトレジストへの高アスペクト比の穴と溝のレーザ加工

Laser fabrication of high-aspect-ratio holes and grooves in photoresist by time constant manipulation

著者 (2件)： EGAMI C. (Fac. of Engineering, Shizuoka Univ., 3-5-1 Johoku, Hamamatsu 432-8561, JPN) ,  LIU Y. (Fac. of Engineering, Shizuoka Univ., 3-5-1 Johoku, Hamamatsu 432-8561, JPN)
資料名： Optics Communications  (Optics Communications)
巻： 280  号： 1  ページ： 188-191  発行年： 2007年12月01日 
JST資料番号： A0678B  ISSN： 0030-4018  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： g線またはi線用の有機色素増感フォトレジストへのレーザの強度...

シソーラス用語： *フォトレジスト ,...

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分類 (2件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 時定数 ,  フォトレジスト ,  高アスペクト比 ,  レーザ加工