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J-GLOBAL ID：200902265190120690   整理番号：08A0366220

低周波大気圧マイクロプラズマジェット

著者 (2件)： 北野勝久 (大阪大 大学院工学研究科 原子分子イオン制御理工セ) ,  浜口智志 (大阪大 大学院工学研究科 原子分子イオン制御理工セ)
資料名： 応用物理  (JSAP International)
巻： 77  号： 4  ページ： 383-389  発行年： 2008年04月10日 
JST資料番号： F0252A  ISSN： 0369-8009  CODEN： OYBSA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 大気圧下にて簡単に生成可能なLF(Low Frequency)マイクロプラズマジェットが,物理的にも応用面でも,注目されている。ヘリウムガス流束の近傍に低周波高電圧を印加した電極を設置するだけで,グロー放電のようなプラズマを,50μmから数十mm程度の大きさでさまざまな形状にて生成できる。高速度撮影によると,一見細長く伸びるジェットは,実は,10km/s程度の高速で移動する小さな発光体(プラズマ塊)である。すなわち,大気中へ射出されるヘリウムガス流束中の間欠的な部分放電である。このジェットを液体に照射することにより,液中プラズマプロセシングが安定して行えるなど,幅広い条件下でプロセス応用が可能である。(著者抄録)

シソーラス用語： *グロー放電 ,  *プラズマジェット ,  *LF【周波数】 ,  気圧 ,  *部分放電 ,  間欠性
準シソーラス用語： 大気圧 ,  マイクロプラズマジェット

分類 (1件)： 気体放電  (BJ03020T)

引用文献 (23件)：

• TRUNEC, D. Contributions to Plasma Physics. 1998, 38, 435
• KUNHARDT, E. E. IEEE Transactions on Plasma Science. 2000, 28, 189
• LAIMER, J. Plasma Process and Polym. 2007, 4, 266
• 北野勝久. プラズマ・核融合学会誌. 2008, 84, 19
• KANAZAWA, S. Proc. Japan Symp. Plasma Chemistry, Tokyo, 1987. 1987, 3, 1839

タイトルに関連する用語 (3件)： 低周波 ,  大気圧マイクロプラズマ ,  ジェット