文献

J-GLOBAL ID：200902265570523355   整理番号：06A0223617

シリコンマイクロマシニング熱流量センサの感度の強化

Sensitivity enhancement of a silicon micro-machined thermal flow sensor

著者 (3件)： ROH Sung-cheoul (Dep. of Thermal and Fluid System, Korea Inst. of Machinery and Materials, 171 Jang-dong, Yusong-gu, Taejon 305-343, KOR) ,  CHOI Yong-moon (Dep. of Fluid Flow, Korea Res. Inst. of Standards and Sci., 171 Jang-dong, Yusong-gu, Taejon 305-343, KOR) ,  KIM Soo-yong (Dep. of Thermal and Fluid System, Korea Inst. of Machinery and Materials, 171 Jang-dong, Yusong-gu, Taejon 305-343, KOR)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 128  号： 1  ページ： 1-6  発行年： 2006年03月31日 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 微量の気体流速を測定するマイクロマシニング熱流量センサを開発...

シソーラス用語： *流量計 ,...
準シソーラス用語： 熱伝導

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=06A0223617&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=B0345C") }}

分類 (1件)： 流体の実験・試験・測定方法及び装置  (BC01020K)

タイトルに関連する用語 (5件)： シリコン ,  マイクロマシニング ,  流量センサ ,  感度 ,  強化